直线驱动器
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4950.00
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- 直线驱动器，采用波纹管密封，提供沿端口轴（Z轴）的线性运动。典型的应用包括定位光束线滤波器和调整溅射源。
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产品详细
具体参数
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型号CLSM35-100-H | LSM35-100-S
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密封机制波纹管密封
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行程100 mm | 100mm
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通径38 mm
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安装法兰双侧CF35-螺纹孔
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可烘烤温度200℃
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使用温度-20°C 到 150°C
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漏率< 1E -11 mbar*L*s-1
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工作压力范围1E-11 mbar 至 1000 mbar
