差分转台
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29999.00
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- 差分转台,提供了通过腔壁旋转,使得安装在端头法兰组件转动的同时不影响内部真空。
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产品详细
具体参数
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密封机制密封圈 + 两级差分
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安装法兰双侧CF100-螺纹孔
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差分法兰2个CF16
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通径100 mm
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负载极限垂直方向:120 Kg 水平方向:20 Kg 倒置方向:90 Kg
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涡轮蜗杆1圈 = 2°
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分辨率0.05°
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最大转速1.0 rpm
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转动扭矩0.3 Nm
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可烘烤温度150℃
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漏率< 1E -11 mbar*L*s-1
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工作压力范围1E-11 mbar 至 1000 mbar