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差分转台
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29999.00
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ZRP100H
差分转台,提供了通过腔壁旋转,使得安装在端头法兰组件转动的同时不影响内部真空。
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产品详细
具体参数
密封机制
密封圈 + 两级差分
安装法兰
双侧CF100-螺纹孔
差分法兰
2个CF16
通径
100 mm
负载极限
垂直方向:120 Kg 水平方向:20 Kg 倒置方向:90 Kg
涡轮蜗杆
1圈 = 2°
分辨率
0.05°
最大转速
1.0 rpm
转动扭矩
0.3 Nm
可烘烤温度
150℃
漏率
< 1E -11 mbar*L*s-1
工作压力范围
1E-11 mbar 至 1000 mbar
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