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全金属直角泄漏阀,可精确控制外部向真空腔注入气体的流量,常用于细微和超细气体进气控制。
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产品详细
具体参数
密封机制
不锈钢+无氧铜等
驱动方式
手动
安装法兰
两个KF16-可旋转-光孔
最大入口压力
10.0 bar
漏率
1×10^ -12 mbar.l.s-1
可烘烤温度
开启状态:450℃ 关闭状态:250℃
工作压力范围
1E-11 mbar 至 100 mbar
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