MiniXY位移台
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9999.00
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- MiniXY位移台，基于波纹管结构，用于低工作周期、不需要高精度应用的基本X和Y操控。所有选项都提供+/-10mm的X和Y运动，典型的重复精度为0.5mm。
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产品详细
具体参数
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密封机制波纹管密封
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安装法兰一侧CF35螺纹孔，一侧CF35光孔
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通径38 mm
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XY行程+/-10mm
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重复精度0.5mm
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负载极限垂直：100 N 水平：10Nm
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可烘烤温度250℃
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漏率< 1E -11 mbar*L*s-1
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工作压力范围1E-11 mbar 至 1000 mbar
