AG40S扫描型离子枪
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89999.00
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- AG40S是一款差分、扫描型的离子枪,常用于产生Ar+氩气离子,用于样品或基座的清洁。
- 其最优聚焦尺寸可达125μm,扫描范围可达10 x 10mm2,可与微聚焦X射线源紧密配合,实现多点位的XPS深度剖析测量。
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产品详细
具体参数
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能量范围200 ~ 5000 eV,连续可调
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光斑尺寸典型值160μm;最优值125μm
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束流大小0.8μA @ 5KeV,160μm;8.0μA @ 5KeV,1000μm;
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束流密度1 ~ 4 mA/cm2
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扫描范围10 x 10 cm²
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适用气体多种气体,常用于Ar气
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插入长度163 mm
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工作距离23 mm 至 100 mm;最佳值23 mm
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安装法兰DN40CF
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可烘烤温度200℃
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工作气压10^-8 mbar 至 10^-7 mbar ; 两个DN16CF差分口;
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远程控制选配;RS485通讯协议