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AG40S扫描型离子枪

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¥ 89999.00
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  • AG40S是一款差分、扫描型的离子枪,常用于产生Ar+氩气离子,用于样品或基座的清洁。
  • 其最优聚焦尺寸可达125μm,扫描范围可达10 x 10mm2,可与微聚焦X射线源紧密配合,实现多点位的XPS深度剖析测量。

 

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产品详细

具体参数

  • 能量范围
    200 ~ 5000 eV,连续可调
  • 光斑尺寸
    典型值160μm;最优值125μm
  • 束流大小
    0.8μA @ 5KeV,160μm;8.0μA @ 5KeV,1000μm;
  • 束流密度
    1 ~ 4 mA/cm2
  • 扫描范围
    10 x 10 cm²
  • 适用气体
    多种气体,常用于Ar气
  • 插入长度
    163 mm
  • 工作距离
    23 mm 至 100 mm;最佳值23 mm
  • 安装法兰
    DN40CF
  • 可烘烤温度
    200℃
  • 工作气压
    10^-8 mbar 至 10^-7 mbar ; 两个DN16CF差分口;
  • 远程控制
    选配;RS485通讯协议