X射线光电子能谱仪
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999999.00
- 仪器主体包含快速进样室, 分析腔室。
- 分析腔室能够维持高真空环境；
- 分析腔室中配备单色化Al Kα阳极X射线源、电子束中和系统、全自动五轴样品台、氩离子溅射枪, 仪器操控需要计算机及软件系统。
配件清单
| 序号 | 部件 | XPS150-SP | XPS150-RB |
|---|---|---|---|
| 1.1 | 分析器 | R150X |
R150X |
| 1.2 | X射线源 | XR40-非单色 |
μXR275-微聚焦单色 |
| 1.3 | 位移台 |
4轴-悬臂型 |
5轴-真空滑移台-2英寸 |
| 1.4 | 氩离子刻蚀枪 |
选配 |
AG40S-离子刻蚀枪 |
| 1.5 | 荷电中和枪 |
选配 |
FG40-荷电中和枪 |
| 1.6 | 紫外光源 | 选配 | 选配 |
| 1.7 | 主腔 | 不锈钢+磁屏蔽 | 不锈钢+磁屏蔽 |
| 1.8 | 主腔真空泵 | 分子泵+干泵 | 分子泵+干泵+离子泵 |
| 2 | 进样腔 | 不锈钢+独立真空系统 | 不锈钢+独立真空系统 |
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主分析腔体采用SUS316L不锈钢腔体，并安装一层μ金属材质的内衬
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样品点残余磁场典型值≤20mGauss；最优值≤5mGauss
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极限真空≤5 ×10^-9 mbar（配置离子泵、分子泵等）
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半球能量分析器R150型
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电子平均半径150 mm
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能量范围1 eV ~ 1500 eV
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通过能 Ep1 ~ 500 eV，多个可选
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能量分辨率≤50 meV FWHM @ Ep = 2 eV，Ek = 9.1 eV
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角度分辨率≤ 0.1°@ 0.1 mm光斑
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透镜工作模式传输模式、（角分辨模式可选）
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采集模式固定模式、扫描模式
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样品台全自动五轴样品台
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样品扫描范围直径60 mm区域
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移动范围X：±25 mm, Y：±25mm , Z：0~15 mm; 常中心旋转：0~360°
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倾角范围0°~ 90° 用于角分辨分析，角度分辨≤±1°
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总光电子通量≥1×10^14 phs/s
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光斑尺寸典型值100μm（最优值10μm）
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单色器石英晶体
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X射线源μXR275型
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光子能量Al靶 @ 电压15KV
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适用气体适用气体 He，Ne，Ar，Kr，Xe等
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激励源固态射频源
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紫外光源VUV430-AF型
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光通量≥1×10^10 phs/s
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配件氩离子枪、中和枪等
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烘烤系统热风循环方式烘烤；最高可达200℃
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控制系统真空实时显示、控制以及系统保护
