高分辨-角分辨光电子能谱仪
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3499999.00
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主分析腔体采用SUS316L不锈钢腔体，并安装两层μ金属材质的内衬
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样品点残余磁场典型值≤5mGauss；最优值≤1mGauss
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极限真空≤5 ×10^-11 mbar（配置足够真空泵，并长时烘烤后）
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半球能量分析器R200型
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电子平均半径200 mm
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能量范围0.5 eV ~ 1500 eV
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通过能 Ep1 ~ 200 eV，多个可选
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能量分辨率≤1.8 meV FWHM @ Ep = 2 eV，Ek = 9.1 eV
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角度分辨率≤ 0.1°@ 0.1 mm光斑
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透镜工作模式传输模式、角分辨模式
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角分辨模式±15°，±7°，±3.5°
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采集模式固定模式、扫描模式
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样品台开 (闭) 循环6轴低温样品台
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最低温度典型值6K；最优值4K
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制冷方式开循环或闭循环制冷
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线性移动XYZ三个自由度；位移范围可定制；最佳精度2μm
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转动Polar、Azimuth、Tilt三个转动自由度；最小步长0.001°
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紫外光源VUV430-AF-MONO型
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总光电子通量≥1×10^14 phs/s
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适用气体适用气体 He，Ne，Ar，Kr，Xe等
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激励源固态射频源
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单色器超环面镜光栅 或 双晶单色器
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位移台控制全马达驱动；PLC控制系统，PLC和计算机双界面控制
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样品中转腔采用316L不锈钢材质；可定制
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中转腔基础功能传存机构，进行样品中转传递和存样 氩枪，对样品进行氩离子刻蚀清洁
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样品进样腔采用316L不锈钢材质；可定制
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进样腔基础功能传存机构，进行样品快速进样、传递和多工位存储 与手套箱或Suitcase直连
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烘烤系统热风循环方式烘烤；最高可达200℃
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控制系统真空实时显示、控制以及系统保护
